分子泵机组超高真空处理决策

分子泵机组是由涡轮分子泵+前级泵+真空规构成的真空斥地，适用于顶端制造业、分析仪器研发、真空镀膜、太阳能和半导体、超高真空密封石英管等规模。善准分子泵机组MPU-90i有六大特质：1.超高真空：极限真空度可达到10-6Pa，真空度触摸屏数字清楚；2.操作浅薄：提供中英文操作界面，触摸屏一键开动分子泵和前级泵；3.智能化扫尾作为：承袭IL智能化扫尾作为，扎眼误操作损坏分子泵，操作浅薄，安全可靠；4.一机两用：前级泵可沉寂使用，幽闲粗真空下的使用场景；也不错前级泵+分子泵联动使用，取得超高真空环境，一机两用，性价比高；5.装配粗造：分子泵机组出厂前已完因素子泵、前级泵、触摸屏装配，且完成气密性检测；6.全量程真空规：真空测量规模1*E5Pa至1*E-6Pa，垂直装配确保测量准确。